高分辨高灵敏度综合分析系统和原位X射线光电子能谱仪

序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

1

高分辨高灵敏度综合分析系统

有机无机复合材料国家重点实验室拟高分辨高灵敏度综合分析系统一套。

综合分析系统具有二维高分辨成像和元素成分分析能力，具备离子束的微区分析与加工能力，可以分析轻元素、痕量元素、同位素等，还可以对元素、同位素等进行二维、三维成像分析，具有较高的空间分辨率、快速的成像速度和优异的成像能力。

一、 技术规格及参数

1.  基本单元：双束电镜系统（FIB-SEM），具备超高分辨率的电子镜筒，分辨率优于0.9nm，高分辨离子镜筒分辨率优于2.5nm，技术成熟稳定；

2.  探测器系统：配备样品仓SE、BSE探测器，镜筒内SE、BSE、中角度BSE探测器，具有完备的成像能力；

3.  纳米机械手一套：可用于制备透射电镜样品薄片；

4.  GIS气体注入系统：可伸缩的单支气体注射系统，配备金属铂气体源（Pt）；

5.  五轴计算机控制优中心马达驱动样品台，X&Y移动行程130mm；

6.  能谱仪EDS系统：能量分辨率Mn Ka保证优于127 eV,元素分析范围为 Be4~Cf98。

7.  飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）：集成在FIB-SEM系统中，实现图像观察区域的质谱分析，检出限≤3ppm，质量分辨率≥800。

8.  其他附件及配件系统:稳压电源UPS、空压机、冷却循环水等。

二、 采购数量

1套

三、 售后服务

必须有一年以上的质保期，在国内有专业的售后服务机构，仪器报修后解决问题及时。

四、 安全性

设备安全性好

740

2020年11月

2

原位X射线光电子能谱仪

有机无机复合材料国家重点实验室拟原位X射线光电子能谱仪一套。

设备可满足在高真空、超高真空以及（近）反应条件下进行光电子能谱测量。不仅可以用于表面成分、价态等信息的探测；也可用于在一定压力范围内，样品表面反应发生时，对表面反应过程进行实时追踪，并探究样品成分和价态等特性，从而实现对催化反应的真实活性位点的指认，满足在电催化、光催化和热催化等研究方向的需求。

一、 技术规格及参数

1.  XPS真空系统：包含分析腔和快速进样腔，分析腔真空≤ 1×10^-9mbar，快速进样腔真空≤ 5×10^-8mbar；

2.  电子能量分析器：能量分辨率 < 10meV；工作压力可达25mbar；

3.  单色X射线光源：光斑尺寸≤ 250um；

4.  分析腔四轴全自动样品架：X = ±12.5 mm；Y = ±12.5 mm；样品温度可达600℃；

5.  荷电中和枪：能量范围1 eV-500 eV；束流可达1mA；

6.  溅射离子源：能量可达3 keV，束流可达20μA；

7.  光学相机：分辨率25um；

8.  进气系统：配备质量流量计，带有自动压力控制；

9.  原位电化学反应池；

10. 其他配件系统。

二、 采购数量

1套

三、 售后服务

必须有一年以上的质保期，在国内有专业的售后服务机构，仪器报修后解决问题及时。

四、 安全性

设备安全性好

680

2020年11月